一种静电电荷衰减测试系统及其测试方法.pdfVIP

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2023-06-12 发布于四川
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一种静电电荷衰减测试系统及其测试方法.pdf

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本发明公开了一种静电电荷衰减测试系统及其测试方法。本发明利用软X射线注电法使被测试样荷电，利用阵列化共形非接触式驻极体静电感应探头测量被测试样表面各点的电位，实现了电位的精准控制；利用驻极体的静电场效应，使屏蔽电极带有悬浮电位，并通过使屏蔽电极高频切换接地与悬浮状态，将感应电极的感应电流信号调制为高频交流信号，极大地提高了电位测量灵敏度；进一步地，通过阵列化排布的感应电极实现点对点地测量被测试样表面的电位，从而得到被测试样表面整体电位的三维动态变化；本发明无需可动机械构件即可实现系统被测试样注电

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113030623 B (45)授权公告日 2022.01.07 (21)申请号 202110297201.2 CN 107329005 A,2017.11.07 (22)