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本申请涉及加热工装技术领域,具体涉及一种分子束外延源炉加热丝缠绕工装及缠绕方法,加热丝缠绕工装包括:固定柱、第一固定板、第二固定板、第一旋转环和第二旋转环;第一固定板和第二固定板相互平行并分别可拆卸地与固定柱的两端连接,第一固定板和第二固定板的周面均间隔环布有多个定位凹槽,且各个定位凹槽沿厚度方向贯通第一固定板或第二固定板的两个侧面;第一旋转环和第二旋转环分别可转动且可拆卸地设置在第一固定板和第二固定板的周面上,第一旋转环和第二旋转环均设置有一个开口,开口贯通第一旋转环或第二旋转环的内外周面,开
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115673184 A
(43)申请公布日 2023.02.03
(21)申请号 202211399743.1
(22)申请日 2022.11.09
(71)申请人 季华实验室
地址 528200
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