一种超快激光微纳加工界面定位装置及方法.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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一种超快激光微纳加工界面定位装置及方法.pdf

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本发明提供一种超快激光微纳加工界面定位装置及方法，所述装置包括：探测光源、光学观测仪器、观测图像采集器和处理器，所述探测光源位置固定，且所述探测光源发射的探测光束照射加工界面，形成光触点；所述观测图像采集器通过光学观测仪器采集光触点图像；所述观测图像采集器与处理器电连接。本发明可以实现结构简单、成本低、界面自动确定过程与激光加工过程分离，提高界面自动确定准确性，保证加工过程连续性。因此，该加工界面自动确定装置与方法可以很好地应用于超快激光微纳加工界面的确定。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113084350 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202110378824.2 (22)申请日 2021.04.08 (71)申请人烟台魔技纳米科技有限公司