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一种清晰度检测标板和方法及其系统、电子设备以及检测平台。该清晰度检测标板包括至少一第一检测图案和一定位图案。每该第一检测图案包括相互平行的至少二第一线对组，并且每该第一线对组包括至少一第一线对，其中同一该第一线对组中的该第一线对的线宽相同，并且不同的该第一线对组中的该第一线对的线宽不同。该定位图案和该第一检测图案被相对固定地布置，并且该定位图案用于被检测以确定定位点，进而通过该定位点确定每该第一检测图案中的该第一线对的位置，有助于提高清晰度检测的效率和/或精度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113092079 A
(43)申请公布日
2021.07.09
(21)申请号 20201
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