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本发明提供一种双层热阻式薄膜热电堆型热流计及其制备方法，包括：陶瓷基底；设置于陶瓷基底上的第一内热阻层和第一外热阻层；第一内热阻层材料的导热系数大于第一外热阻层材料的导热系数；设置于第一内热阻层和第一外热阻层上的若干对热电偶；若干对热电偶首尾搭接形成薄膜热电堆，且相邻对热电偶通过正极与负极热电偶对接串联；正极与负极热电偶相连的冷结点设置于第一内热阻层上方，正极与负极热电偶相连的热结点设置于第一外热阻层上方；分别设置于热结点、冷结点上的第二外热阻层、第二内热阻层；本发明的双层热阻层的厚度、材料导热
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113091956 B
(45)授权公告日 2022.08.19
(21)申请号 202110269611.6 C23C 14/34 (2006.01)
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