原创力文档- 1、本文档共21页，其中可免费阅读20页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供了一种化学机械研磨工艺模型的预测方法，包括：从第一角以固定的步进尺寸将版图划分为多个第一格点，直到位于版图边缘的第一格点的尺寸小于或等于非边缘的第一格点的尺寸，若边缘第一格点的尺寸小于非边缘第一格点的尺寸，则边缘第一格点为非完整格点并具有长和宽；将版图重新划分为多个第二格点，包括：从非完整格点所在的边和非完整格点的对边开始划分多个边缘第二格点，剩余的版图根据步进尺寸划分为多个非边缘第二格点；提取非边缘第二格点的几何信息；从边缘第二格点所在的边开始以步进尺寸在版图上划分第三格点，并提取第
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113076607 A
(43)申请公布日 2021.07.06
(21)申请号 202110340990.3
(22)申请日 2021.03.30
(71)申请人 上海华力微电子有限公司
文档评论（0）