晶圆缺陷分类方法、装置、系统、电子设备和存储介质.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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晶圆缺陷分类方法、装置、系统、电子设备和存储介质.pdf

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本发明涉及一种晶圆缺陷分类方法，其通过多个对待分类晶圆缺陷图案进行无监督学习聚类，得到多组晶圆缺陷组，并从每组中选择相应数量的待分类晶圆缺陷图案与缺陷图案参考样本进行匹配，若匹配则将对应组内所有的待分类晶圆缺陷图案判定为相应类别的晶圆缺陷。本发明的分类方法无需大量的训练样本数据量，也无需进行模型训练，大大降低了设备的时间资源和计算资源，一定程度上降低了生产成本并提高了生产效率。相应地，本发明还提供了一种晶圆缺陷分类装置、系统及计算机可读存储介质。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113077462 A (43)申请公布日 2021.07.06 (21)申请号 202110477848.3 (22)申请日 2021.04.30 (71)申请人上海众壹云计算科技有限公司

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