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- 2023-06-13 发布于四川
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本发明提出了一种探测反射光变化的装置及方法，通过透射具有第一偏振态的入射光束，并将具有第一偏振态的入射光束进行场强分割形成第一场强分布，准直汇聚具有第一偏振态和第一场强分布的入射光束照射至物体表面以形成具有第一偏振态和第二场强分布的反射光束；接收视场范围内具有第一偏振态和第二场强分布的反射光束并准直以形成具有第一偏振态和第三场强分布的反射光束；将具有第一偏振态和第三场强分布的反射光束调整至第二偏振态后，将具有第二偏振态和第三场强分布的反射光束进行场强分割以形成具有第二偏振态和第四场强分布的反射光
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113091624 B
(45)授权公告日 2022.08.16
(21)申请号 202110240241.3 (56)对比文件
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