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本申请提出了一种阵列基板及其制备方法、显示面板,该阵列基板包括有源层,位于有源层上的源漏极层,源漏极层包括与所述有源层两端电性连接的源极和漏极,其中所述源极与所述有源层之间、所述漏极与所述有源层之间还分别设有一保护层,所述保护层用于降低所述有源层与所述源漏极层之间的接触电阻。本申请通过在有源层上设置保护层,降低了有源层与源漏极层之间的接触电阻,提升了阵列基板中的薄膜晶体管的电学性能,提高了显示面板的响应速度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113113427 A
(43)申请公布日 2021.07.13
(21)申请号 202110305987.8
(22)申请日 2021.03.23
(71)申请人 TCL华星光电技术有限公司
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