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本发明涉及一种蚀刻液组合物及其应用，所述蚀刻液组合物包括如下组分：过氧化氢、氟化物、金属缓蚀剂、过氧化氢稳定剂、金属络合剂、无机盐和水。本发明提供的蚀刻液组合物采用了一种新配方，通过各组分之间的协同作用，能够提高蚀刻液组合物能够较好的兼容多种膜层结构和材料，蚀刻后无残留，保存条件温和，降低仓储，运输成本，同时耐受铜离子量高，降低使用成本。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113106453 A
(43)申请公布日
2021.07.13
(21)申请号 20201
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