碳化硅光学反射镜侧耳全自动精密研磨装置及研磨方法.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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碳化硅光学反射镜侧耳全自动精密研磨装置及研磨方法.pdf

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本发明公开了一种碳化硅光学反射镜侧耳全自动精密研磨装置及研磨方法，包括工位旋转机构和研磨机构，反射镜固定在工装旋转机构表面，反射镜可随着工位旋转机构沿着X轴进行前后运动，同时反射镜可在工位旋转机构的驱动下实现平面旋转换位，研磨机构位于反射镜的侧面，研磨机构可沿着Z轴进行前后运动并带动研磨砂轮进给运动实现对反射镜左右侧耳的研磨。通过上述方式，本发明碳化硅光学反射镜侧耳全自动精密研磨装置及研磨方法能够克服人工研磨带来的低效性与加工精度较低的弊端，极大地提高了加工效率与加工精度，稳定性好，精度高，加工

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113084647 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202110380193.8 B24B 47/12 (2006.01)