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本发明公开了一种浮动轴套表面高精度微细电解加工装置及其加工方法,解决了现有活动掩膜无法满足精密设备的高精度微细电解的技术问题。本发明包括可拆卸的箱体,箱体包括分别与电源阴极和电源阳极相连的阴极段和阳极段,阴极段设置有电解液进口和电解液出口,阴极段和阳极段之间设置有阴阳极隔离板,所述浮动轴套定位设置在阳极段内,阳极段靠近阴阳极隔离板的一端设置有覆盖浮动轴套的非电解加工区域的屏蔽盖板,浮动轴套的轴孔中设置有屏蔽柱,浮动轴套的电解加工面设置电解掩膜,所述电解液进口和电解液出口通过压力控制单元与储存电解
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113084279 B
(45)授权公告日 2022.07.12
(21)申请号 202110270419.9 (51)Int.Cl.
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