成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法.pdf

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本发明涉及成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法。更有效地进行基板从静电吸盘分离。一种成膜装置，经由掩模在基板上对成膜材料进行成膜，其中，所述成膜装置具备：第1基板支承部，其配置于腔室内，支承所述基板的第1边的周缘部；第2基板支承部，其配置于所述腔室内，支承所述基板的与所述第1边相向的第2边的周缘部；基板吸附部件，其配置于所述腔室内的所述第1基板支承部及第2基板支承部的上方，用于吸附所述基板；以及控制部，所述控制部在所述基板从所述基板吸附部件分离时，进行控制，以使所述第1基板支承部和所述第2基板

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113088870 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202011518651.1 C23C 14/50 (2006.01)

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