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本发明公开了一种液体喷射流道，属于MEMS工艺技术领域；包括基底层、腔壁层和喷孔层，所述基底层中部设置进墨通道，所述腔壁层设置有压力腔，所述喷孔层设置喷孔，所述基底层上依次设置腔壁层和喷孔层，所述压力腔分别与进墨通道和喷孔连通，所述进墨通道横截面为曲线型，其包括基底矩形部、基底延伸部a和基底延伸部b，所述基底矩形部宽度方向两侧分别设置多个基底延伸部a，所述基底矩形部长度方向的两端分别设置一个基底延伸部b；本发明打印质量更好，打印精度更高，墨水供应及时，能完全填充流道，提升喷墨质量。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113059914 B
(45)授权公告日 2022.07.08
(21)申请号 202110318515.6 (51)Int.Cl.
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