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本申请公开了一种晶圆研磨颗粒、抛光液及清洗系统，以使研磨颗粒得以回收利用，降低成本，提升清洗效果，该晶圆研磨颗粒包括颗粒核和包裹所述颗粒核的壳体；其中，所述颗粒核包括磁性材料，使所述晶圆研磨颗粒可通过磁力进行回收。在正常使用时磨损研磨颗粒的外壳，可通过定期对回收的研磨颗粒进行外壳生成的工艺，即可实现磨损外壳的修补，使研磨颗粒可实现长期的回收利用。进一步地，本发明中的清洗系统中额外加入了可生成磁场的磁力装置，由于研磨颗粒的颗粒核具有磁性，可实现磁力与物理清扫的结合，以提供更强的清扫强度，从而对晶圆
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113105865 A
(43)申请公布日 2021.07.13
(21)申请号 202110301197.2
(22)申请日 2021.03.22
(71)申请人 长江存储科技有限责任公司
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