一种抑制介质材料二次电子发射系数的方法.pdfVIP

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  • 2023-06-13 发布于四川
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一种抑制介质材料二次电子发射系数的方法.pdf

本发明公开了一种抑制介质材料二次电子发射系数的方法,该方法选用陶瓷样品及聚合物样品作为研究对象,利用γ射线对样品进行辐照处理。经实验证实,随着辐照剂量的增大,介质材料的电阻率降低,二次电子发射系数的最大值也随之降低,从一定程度上抑制介质材料的二次电子发射系数。相比于表面腐蚀、光刻以及化学方法等工艺来降低二次电子发射系数,通过辐照来抑制介质材料二次电子发射系数的方法更具有普适性,工艺简单,成本小,操作简便等优点。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113072393 A (43)申请公布日 2021.07.06 (21)申请号 202110350644.3 G01N 23/2202 (2018.01)

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