一种声表面波谐振器和射频滤波器.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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一种声表面波谐振器和射频滤波器.pdf

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本发明实施例提供一种声表面波谐振器和射频滤波器，声表面波谐振器包括：衬底；位于衬底上的压电层；电极层，电极层位于压电层远离衬底的一侧；电极层包括多个叉指式换能器，叉指式换能器包括：第一汇流条和交替排布连接至第一汇流条的第一电极指和第一虚设电极指；第二汇流条和交替排布连接至第二汇流条的第二电极指和第二虚设电极指；第一电极指和第二虚设电极指相对设置，第二电极指和第一虚设电极指相对设置。本发明实施例提供的声表面波谐振器和射频滤波器，无需更换衬底和压电层，也无需增加额外的结构单元，就能实现带宽选择的灵活

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113098430 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202110379108.6 (22)申请日 2021.04.08 (71)申请人江苏卓胜微电子股份有限公司