一种稀土金属及稀土合金旋转靶材的制造装置及方法.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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一种稀土金属及稀土合金旋转靶材的制造装置及方法.pdf

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本发明公开一种稀土金属或合金旋转靶材的制备设备与方法，该设备可实现金属合金的熔铸成型一体化，将熔炼与铸造成型在同一个空间内完成，有效提高旋转靶材质量。采用该设备的制备方法在熔炼之后可直接成型脱模。本发明操作简单易行，适用于工业化生产；采用本发明的设备与方法能够得到纯度高、成分均匀稳定、成材率高的旋转靶材。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113106407 B (45)授权公告日 2022.07.26 (21)申请号 202110325579.9 C23C 14/16 (2006.01)