原创力文档- 2
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- 2023-06-13 发布于四川
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本发明公开了一种实现免洗靶功能的封闭靶仓设备，包括舱体和溅射靶，溅射靶设于舱体内；舱体外还设有：门框、舱门和锁紧装置，舱体上设有开口，门框安装于开口上，舱门与门框相配合实现对舱体的关闭与打开；溅射靶朝向舱门的方向设置；锁紧装置作用于舱门，将舱门锁紧于门框上或将舱门从门框上解锁，舱门锁紧于门框上时，舱体形成一密闭容器。本发明通过将溅射靶置于舱体内，并对舱体设置舱门和锁紧装置，当达到溅射的真空要求时将舱门打开，进行溅射镀膜操作，操作完成后在真空环境下将舱门关闭并锁紧，使溅射靶真空密封于舱体内，大大减
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113061867 A
(43)申请公布日 2021.07.02
(21)申请号 202110266053.8
(22)申请日 2021.03.11
(71)申请人 深圳市三束镀膜技术有限公司
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