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一种93K测试机与待测产品的匹配性检测系统及其检测方法.pdfVIP

一种93K测试机与待测产品的匹配性检测系统及其检测方法.pdf

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    一种93K测试机与待测产品的匹配性检测系统及其检测方法，其中所述检测方法包括：(S1)分别被设置能够采集93K测试机的配制信息和待测晶圆的测试项有关信息；(S2)自动地接收经由采集而获取的所述93K测试机的配制信息，并将所述配制信息转录于晶圆生产厂商记载晶圆测试项有关的模板所定义的一比对模板；(S3)比对所述待测晶圆的测试项有关信息和转录于所述比对模板中的信息；和(S4)输出所述比对结果。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113075521 A (43)申请公布日 2021.07.06 (21)申请号 202110234625.4 (22)申请日 2021.03.03 (71)申请人 上海伟测半导体科技股份有限公司

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