压阻式微型电场传感器及其制备方法、电场传感器.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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压阻式微型电场传感器及其制备方法、电场传感器.pdf

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一种压阻式微型电场传感器及其制备方法、电场传感器，其中压阻式微型电场传感器包括：衬底；设置在衬底顶部的锚区；与锚区连接的压阻拾振元件，用于将电场强度转化为电阻值变化；以及悬空设置在衬底上方的振动薄膜，振动薄膜通过支撑梁与压阻拾振元件连接，用于感应电场的变化；振动薄膜在电场力作用下产生位移，从而导致压阻拾振结构的阻值发生改变。本发明公开的压阻式微型电场传感器不需要额外引入驱动电压，具有功耗低、可实现交直流宽频带电场测量的特点，并且压阻检测得到的信号更强，信噪比高，同时体积小、结构简单，有益于实现批

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113092885 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202110386099.3 (22)申请日 2021.04.09 (71)申请人中国科学院空天信息创新研究院