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一种探针机构和可变温真空探针平台.pdfVIP

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  • 2023-06-13 发布于四川
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一种探针机构和可变温真空探针平台.pdf

    本发明公开了一种探针机构，包括探针组件，探针组件包括固定部、探针及第一弹性部，探针沿自身轴向可滑动连接于固定部，第一弹性部连接于固定部和探针，用于给探针相对固定部的移动提供弹性阻尼。本发明能有效避免探针划伤待测样品。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113075128 A (43)申请公布日 2021.07.06 (21)申请号 202110376402.1 (22)申请日 2021.04.06 (71)申请人 武汉佰力博科技有限公司

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