基于工艺窗口的冗余局部环路插入方法.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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基于工艺窗口的冗余局部环路插入方法.pdf

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本发明涉及一种基于工艺窗口的冗余局部环路插入方法，解决了现有技术中缺乏对工艺窗口的考虑，难以满足可制造性要求的问题。该方法包括：输入原始版图，提取得到所有的通孔信息和所有可用的RLL插入方案；计算每一个所述RLL插入方案对应的工艺窗口和代价；利用每一个所述代价函数和每一个所述工艺窗口计算目标函数，根据所述目标函数得到最优的RLL插入方案；基于所述最优的RLL插入方案进行冗余局部环路插入，输出最终的版图，实现了基于工艺窗口的版图的可制造性。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113097207 B (45)授权公告日 2022.05.31 (21)申请号 202110372285.1 (56)对比文件