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本发明公开了一种反应系统，包括：反应器，具有反应腔以及连通反应腔的进气口和抽气口；进气装置，设置在进气口，用于向反应腔供给反应气体；抽气系统，和抽气口连接，用于对反应腔内进行抽气；旋转装置，绕自身轴线可转动地设置在反应器上，旋转装置的一端伸至反应腔内；石墨托盘，设置在旋转装置伸至反应腔的一端，石墨托盘用于承载衬底；预热筒，设置在石墨托盘的外侧；第一加热器，设置在预热筒的外侧；第二加热器，设置在石墨托盘的下方。本发明结合了冷壁系统和热壁系统的优点，可以生长出更好的单晶材料，并且通过调节预热筒的温度
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113089090 A
(43)申请公布日 2021.07.09
(21)申请号 202011493050.X
(22)申请日 2020.12.17
(71)申请人 芯三代半导体科技（苏州）有限公司
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