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蒸镀掩膜板及其制作方法、显示面板.pdfVIP

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  • 2023-06-13 发布于四川
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蒸镀掩膜板及其制作方法、显示面板.pdf

    本发明提供了一种蒸镀掩膜板及其制作方法、显示面板，属于显示技术领域。其中，蒸镀掩膜板，设置于蒸镀源和待蒸镀基板之间；所述待蒸镀基板靠近所述蒸镀源的一侧具有至少一个隔垫物；所述蒸镀掩膜板包括：掩膜板本体；设置在所述掩膜板本体上的至少一个凹槽，所述凹槽内填充有弹性缓冲材料，所述弹性缓冲材料用于与所述隔垫物相接触，并支撑所述掩膜板本体。本发明的技术方案可以解决待蒸镀基板中的隔垫物被蒸镀掩膜板划伤的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113061840 A (43)申请公布日 2021.07.02 (21)申请号 202110275316.1 H01L 27/32 (2006.01) (22)申请日 2

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