传感器芯体元件的制备方法.pdfVIP

下载本文档

3
0
约9.47千字
约 10页
2023-06-13 发布于四川
举报

传感器芯体元件的制备方法.pdf

本发明涉及一种传感器芯体元件的制备方法。传感器芯体元件的制备方法包括步骤：提供一敏感弹性体，敏感弹性体包括弹性基体及制作于弹性基体上的敏感电路；对敏感弹性体进行均胶、曝光、显影、竖膜、蚀刻等处理，以得到传感器芯体；对传感器芯体进行二氧化硅镀膜，以在传感器芯体表面形成保护膜；利用二价酸酯溶剂去除传感器芯体焊盘位上的光刻胶及附着于光刻胶上的二氧化硅，以得到芯体元件；对芯体元件进行清洗处理；对清洗后的芯体元件进行烘干处理。上述方法的使用，在芯体元件的制备过程中可避免使用剧毒且环境极不友好的氢氟酸、氟化

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113097051 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202110231010.6 (22)申请日 2021.03.02 (71)申请人松诺盟科技有限公司地

您可能关注的文档

文档评论（0）

1亿VIP精品文档

更多 >

传感器芯体元件的制备方法.pdfVIP

传感器芯体元件的制备方法.pdf

您可能关注的文档

最近下载

文档评论（0）

1亿VIP精品文档

相关文档