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本发明公开了一种基于双层结构的偏振不敏感波导光栅滤波器；包括偏振不敏感滤波器单元，所述偏振不敏感滤波器单元中包括硅波导切趾光栅层和氮化硅波导切趾光栅层，其中由硅波导切趾光栅针对TE信号进行滤波，由氮化硅波导切趾光栅针对TM信号进行滤波。所述的偏振不敏感滤波器单元可以采用多模波导型滤波器实现，也可以采用光栅辅助型滤波器实现；本发明的滤波器可以实现TE模式和TM模式的同时滤波，实现偏振不敏感的光栅滤波器，并且器件尺寸相比传统的采用偏振旋转器的方案可有效缩小一半。此外，本发明基于硅基以及氮化硅波导光栅
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113075766 B
(45)授权公告日 2022.01.11
(21)申请号 202110368231.8 (56)对比文件
(22)申请日 2021.04.06
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