半导体设备的机械手.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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半导体设备的机械手.pdf

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本发明提供一种半导体设备的机械手，包括手指结构，手指结构包括手本体和自手本体延伸出的至少两个指本体，手本体上设置有可移动的第一承载部件，各指本体上分别设置有第二承载部件，第一承载部件和多个第二承载部件均对应设有承载面，各承载面通过配合用于共同支撑晶圆；第一承载部件可朝靠近或远离各第二承载部件的方向移动，使各承载面的不同位置与晶圆接触，形成对晶圆不同的承载高度。本发明提供的半导体设备的机械手，不仅能够避免待加工的晶圆和加工后的晶圆相互影响，还能够避免手指结构与工艺腔室的晶圆传输口发生干涉，并降低机

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113113340 A (43)申请公布日 2021.07.13 (21)申请号 202110340588.5 (22)申请日 2021.03.30 (71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司