用于TO封装红外传感器的检漏方法.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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用于TO封装红外传感器的检漏方法.pdf

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本发明涉及一种用于TO封装红外传感器的检漏方法，包括以下步骤：(1)将封装好的红外传感器批量置入补氦装置中，先抽真空，再充入氦氮混合气，进行补氦；(2)对红外传感器进行分组，以分组的方式，在检漏装置中进行氦质谱检测，获得读数；当读数小于预设值时，判定为合格；当读数大于等于预设值时，判定为NG，并进入步骤(3)；(3)对判定为NG的该组红外传感器，重复步骤(2)，直至判定为NG的红外传感器组中红外传感器的总数量小于第一预设数量，对该组红外传感器进行二次封帽处理，并随下一批次产品进行检漏。本发明的检

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113092030 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202110386806.9 (22)申请日 2021.04.12 (71)申请人翼捷监测技术(苏州)有限公司