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本公开涉及一种栅极间距可调整的阻滞势分析仪,包括外壳,外壳具有第一安装槽,外壳前端具有第一通孔;第一安装槽内安装第一绝缘圈、入口栅极、第二绝缘圈、电子屏蔽栅极、第三绝缘圈、第四绝缘圈、离子能量扫描栅极、第五绝缘圈、收集极;离子能量扫描栅极固装于第四绝缘圈,第一安装槽内可转动地固装调节杆,调节杆与第四绝缘圈螺纹连接,调节杆可控制第四绝缘圈和离子能量扫描栅极轴向移动。本申请电子屏蔽栅‑离子能量扫描栅间距可调,在同一种等离子体发生装置不同流场位置测量精度将会提高,有效降低系统误差;在不同型号等离子体发
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113092124 A
(43)申请公布日 2021.07.09
(21)申请号 202110367479.2
(22)申请日 2021.04.06
(71)申请人 江苏深蓝航天有限公司
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