一种用于检测膜面振动的双腔装置及其解调方法.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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一种用于检测膜面振动的双腔装置及其解调方法.pdf

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本发明公开了一种用于检测膜面振动的双腔装置及其解调方法，涉及光传感信息解调技术领域；包括激光器、光纤分束器、光环形器、光纤、双腔装置及光电探测器；激光器发出的激光经过光纤分束器分成两束光，光束通过光环形器传输到双腔装置，在双腔装置内光束照射在膜面上并反射回光纤，并与光纤端面的反射光发生干涉，干涉光通过光环形器传输到光电探测器上并转化为电信号；双腔装置结构使双腔输出的干涉信号呈一定的相位差状态，双腔装置内含有一种位移驱动结构，其促使光纤端面垂直膜面移动；通过对干涉光束转化的电信号采用椭圆拟合算法进

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113091882 B (45)授权公告日 2022.07.19 (21)申请号 202110424821.8 (56)对比文件 (22)申请日 2021.04.20