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一种掩膜版图形的修正方法.pdfVIP

一种掩膜版图形的修正方法.pdf

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    一种掩膜版图形的修正方法，其中，包括：提供目标版图，所述目标版图包括若干主图形；沿第一方向将所述目标版图分为若干第一区；获取每个所述第一区的位置信息；根据每个所述第一区的位置信息获取该第一区的第一模型；根据所述第一模型获取所述第一区内的每个所述主图形周围的辅助图形的图形参数；根据每个所述主图形的辅助图形的图形参数，在每个主图形周围设置所述主图形的辅助图形。所述掩膜版图形的修正方法能够使辅助图形不易被曝光。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113093472 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 20201

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