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本发明提供一种金属磁粉芯及其制备方法,包括以下步骤:(Ⅰ)将表面处理后的铁基软磁粉末进行绝缘包覆得到包覆氧化层的铁基软磁粉末;所述铁基软磁粉末的粒径为200~2000目,所述绝缘包覆的方法为原子层沉积(ALD),所述氧化层的厚度为10~100nm;(Ⅱ)将干燥的包覆氧化层的铁基软磁粉末、有机硅树脂和有机溶剂混合并挥发有机溶剂后压坯成型得到生坯;(Ⅲ)将所述生坯在绝氧条件下于200~500℃退火。本发明金属磁粉芯制备方法通过原子层沉积方法在铁基软磁粉末上包覆氧化层,氧化层厚度均匀,致密性好、厚度可
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113096907 A
(43)申请公布日 2021.07.09
(21)申请号 202110262461.6
(22)申请日 2021.03.10
(71)申请人 广东省科学院材料与加工研究所
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