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本发明公开了一种基于MEMS谐振器的低功耗高分辨率宽带可调振荡器，包括主体电路，调频电路A、调频电路B、调频电路C；主体电路包括负电阻电路以及谐振腔，其中谐振腔包括MEMS谐振器X1、电容C13、电容C14、片外电感L；负阻实现电路(1)和调频电路A、B、C；所述谐振器X1依次和电容C13、片外电感L、电容C14形成串联回路，所述片外电感L的两端分别通过电容C7和电容C8与MOS管M17、M18连接，形成调频电路A；所述调频电路B、调频电路C均位于整体谐振腔的两端。通过采用谐振器与片上电容与片外
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113098503 A
(43)申请公布日 2021.07.09
(21)申请号 202110377356.7
(22)申请日 2021.04.08
(71)申请人 中国科学技术大学
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