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本发明公开了一种位移装置,包括支撑体,位移体;两个导向组件,设置于支撑体与位移体间并位于位移体的相对两侧;每个导向组件均包括能沿X轴方向相对位移地设置的多个部分;每个导向组件的各个部分分别与位移体和支撑体固定连接;每个导向组件包括沿X轴方向延伸的多个磁体分布结构,其包括分别设于两个导向组件的各个部分的第一磁体分布结构至第四磁体分布结构,多个磁体分布结构中两两之间相对设置,相互间产生磁浮力以形成磁浮间隙;驱动组件,包括分别固定设于支撑体和位移体并沿X轴方向延伸的定子磁性单元和动子磁性单元,其用于相
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113098330 B
(45)授权公告日 2022.06.07
(21)申请号 202110558842.9 (56)对比文件
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