基于电调谐的纳米梁腔光滤波器.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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基于电调谐的纳米梁腔光滤波器.pdf

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本发明公开一种基于电可调的纳米梁腔滤波器,主要解决现有可调谐光滤波器体积大、损耗大、功耗大、调制速度慢的问题。其采用由衬底(1)、包层(2)、波导(3)、电调制耦合区域(4)组成的垂直结构,该电调制耦合区域包括谐振腔(41)、顶电极(42)、底电极(43),该谐振腔(41)包括三层纳米梁腔结构,其上设有大小不同的纳米阵列通孔，且第二纳米梁腔采用铪锆氧或铝钪氮材料；该包层设为上下两层，且上包层材料为二氧化硅或空气；该底电极位于第一层纳米梁腔之上的两端；该顶电极位于第三层纳米梁腔之上的两端。本发明大

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116256905 A (43)申请公布日 2023.06.13 (21)申请号 202211736447.6 (22)申请日 2022.12.30 (71)申请人西安电子科技大学地址 7100