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提供一种闸阀的动作次数少即可的扬尘量少的装载锁定腔室。该装载锁定腔室具备：框体，其具有送入送出基板的开口部；闸阀机构，其能够将所述开口部气密地密封；多段的基板载置部，其设置在所述框体的内部，用于载置所述基板；升降机构，其使所述基板载置部升降；以及转动机构，其使多段的所述基板载置部绕着铅垂轴转动。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113169107 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980081286.1 (74)专利代理机构北京同达信恒知识产权代理

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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