形成氧化物的涂覆液、氧化物膜的制造方法、场效应晶体管的制造方法.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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形成氧化物的涂覆液、氧化物膜的制造方法、场效应晶体管的制造方法.pdf

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本发明提供一种用于形成氧化物的涂覆液，所述涂覆液包括硅(Si)和B元素，所述B元素为至少一种碱土金属，其中当Si元素的浓度由CAmg/L表示且所述B元素的总浓度由CBmg/L表示时，涂覆液中钠(Na)和钾(K)的总浓度为(CA+CB)/(1×102)mg/L或更低，且所述涂覆液中铬(Cr)、钼(Mo)、锰(Mn)、铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)和铜(Cu)的总浓度为(CA+CB)/(1×102)mg/L或更低。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113169071 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980077423.4 (74)专利代理机构北京银龙知识产