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2023-06-14 发布于四川
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提供一种静电电容传感器，即使对于可贴于晶圆运送机械手的指状件表面上的薄型的检测部所检测的静电电容，仍可去除由除电装置、驱动源产生的噪声的影响，进行正确的测定。其包括：交流供给源(29)，该交流供给源(29)向检测部(1a)供给交流电压；寄生电容补偿电路(33)；运算放大器(28)；差动放大器(34)；相位检波机构(35)；低通滤波器，其中，运算放大输出端子经由第1带通滤波器(30)与上述差动放大器(34)的反相输入端子连接，交流供给源(29)经由第2带通滤波器(31)与上述差动放大器(34)的非

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113167564 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980081887.2 (74)专利代理机构北京三幸商标专利事务所