一种回转式CVD碳材料表面均匀沉积装置.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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一种回转式CVD碳材料表面均匀沉积装置.pdf

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本发明公开了一种回转式CVD碳材料表面均匀沉积装置，包括控制箱，所述控制箱的一侧设置有输料箱，所述控制箱的上端定位连接有定位支脚，所述定位支脚的上端定位安装有分层式密封沉积箱与滑阀泵，所述分层式密封沉积箱的上端安装有加热箱。本发明所述的一种回转式CVD碳材料表面均匀沉积装置，设有回转式分层过滤装置、可拆式温控箱与分层式密封沉积箱，能够方便对料体中的杂质进行过滤清除，增加化学气相沉积的效果，输送更为快速，可以方便对加热温度进行控制，可以定位进行拆装更换，保证装置正常使用，燃烧更加稳定，还可以方便更

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113104834 A (43)申请公布日 2021.07.13 (21)申请号 202110417858.8 (22)申请日 2021.04.19 (71)申请人苏州力碳新能源发展有限公司

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