处置和处理易碎基板上的双面装置.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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处置和处理易碎基板上的双面装置.pdf

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本公开内容的实施方式大体涉及用于保持具有设置在表面上的一个或多个装置的基板的表面而不会接触一个或多个装置且不会使基板变形的基板支撑组件以及具有所述基板支撑组件的系统。在一个实施方式中，基板支撑组件包括边缘环，边缘环耦接至基板支撑组件的主体。控制器耦接至与基板支撑组件的主体耦接的多个像素的致动机构，使得与待保持的基板的表面的部分相对应的像素的部分经定位以支撑所述部分，而不接触在待保持在支撑表面上的基板的表面上所设置的一个或多个装置。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113169110 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980079480.6 卢多维克 ·戈代　