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探针卡和具有探针卡的测试设备。一种测试设备包括探针卡和测试仪。探针卡具有分别与晶圆的晶片相对应的多个区域。探针卡包括具有带有透镜的第一区域和不具有透镜的第二区域的托盘。测试仪被配置为生成驱动控制信号，驱动控制信号用于使托盘在第一方向或第二方向上移动，以使第一区域或第二区域位于面对晶片的位置。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113156173 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 202010703774.6
(22)申请日 2020.07.21
(30)优先权数据
10-2020-0
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