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本发明的课题在于提供有助于提高剥离后的表面的洁净性的粘合片。可提供一种粘合片，其包含构成粘合面的粘合剂层，利用下式算出的清洁度为20％以上。清洁度＝1‑(B/A)，此处，上述式中的B为将粘合片从SiN晶片进行水剥离后的该SiN晶片的表面的碳量B[原子％]。上述式中的A为贴附上述粘合片之前的上述SiN晶片的表面的碳量A[原子％]。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113150706 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 202011459875.X
(22)申请日 2020.12.11
(30)优先权数据
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