凹面衍射光栅的制造方法、制造装置以及凹面衍射光栅.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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凹面衍射光栅的制造方法、制造装置以及凹面衍射光栅.pdf

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本发明提供一种凹面衍射光栅的制造方法，包括如下步骤：使在推压面具有衍射光栅的槽图案的平面金属模具的上述推压面与在凹面涂布有树脂的凹面基板的上述凹面对置，配置上述平面金属模具及上述凹面基板；利用流体对上述平面金属模具进行加压，将上述推压面推压到涂布于上述凹面的上述树脂；以及使通过上述推压面被推压而转印有上述槽图案的上述树脂固化。由此，能够改善载荷不均匀性，能够制造具有高的面精度的凹面衍射光栅。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113167944 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980046336.2 (74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限