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描述了拼接式裸片封装技术和结构,其中使用晶圆重组和裸片拼接技术形成重组芯片。在一个实施方案中,芯片包括重组的芯片级后道工艺(BEOL)积层结构(310),以连接嵌入在无机间隙填充材料(130)中的裸片集(110,110)。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113169080 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 201980078992.0 (74)专利代理机构 北京市汉坤律师事务所
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