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一种用于测量制造工艺的参数的方法，包括：利用辐射照射目标，检测来自目标的经散射的辐射，以及从所检测的辐射的不对称性来确定感兴趣的参数。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113168103 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980061872.X (74)专利代理机构北京市金杜律师事务所

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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