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本发明公开了一种可调偏压的阵列精密电容的同步测量系统及方法，其测量系统包括数字信号处理子系统、模拟链路子系统和待测电容测试子系统；本发明在外加偏置电压的条件下，能对阵列精密电容实现在线同步测量，通过不同频率的激励信号给到不同的待测电容，通过不同的待测电容后汇聚成一个包括复数个频率分量的第二合成波模拟信号，之后将包括复数个频率分量的第二合成波数字信号输入数字信号处理子系统进行并行解调，也确保了待测电容在测试时间上的匹配，提高了电容测量效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113125926 B
(45)授权公告日 2022.02.08
(21)申请号 202110375742.2 (56)对比文件
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