一种复合衬底及制备方法、射频集成芯片制备方法.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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一种复合衬底及制备方法、射频集成芯片制备方法.pdf

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本发明提供一种复合衬底及制备方法、射频集成芯片制备方法，涉及半导体技术领域，方法包括：提供砷化镓基底，在高电子迁移率晶体管区域刻蚀异质结双极晶体管外延层结构以露出高电子迁移率晶体管外延层结构，高电子迁移率晶体管外延层结构和异质结双极晶体管外延层结构均位于异质结双极晶体管区域和键合区域；在键合区域的异质结双极晶体管外延层结构上沉积结合层。在结合层上通过键合形成键合压电层，从而可以将高电子迁移率晶体管外延层结构、异质结双极晶体管外延层结构和键合压电层集成，在封装时，能够提高芯片集成化，减小打线，减小

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113113294 B (45)授权公告日 2022.06.07 (21)申请号 202110374676.7 (56)对比文件 (22)申请日 2021.04.07

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