HG_T 4509-2013 工业高纯氢氟酸.docx

ICS 71.060.30 G 11 备案号：41827—2013 HG 中华人民共和国化工行业标准 HG/T 4509—2013 工业高纯氢氟酸 High purity hydrofluoric acid for industrial use 2013- 10- 17发布 2014-03-01 实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 1 HG/T 4509—2013 前 言 本标准按照 GB/T 1.1 2009 给出的规则起草。 本标准的附录 A 为资料性附录。 本标准由中国石油和化学工业联合会提出。 本标准由全国化学标准化技术委员会无机化工分会(SAC/TC63/SC1) 归口。 本标准起草单位：浙江凯恒电子材料有限公司、福建省邵武市永飞化工有限公司、鹰鹏集团/宣城亨 泰化工科技有限公司、浙江蓝苏氟化有限公司、贵州省产品质量监督检验院、巨化集团技术中心、山东兴 氟新材料有限公司、上海哈勃化学技术有限公司、多氟多化工股份有限公司、中海油天津化工研究设计 院、国家无机盐产品质量监督检验中心。 本标准主要起草人：田志扬、赵晓亚、杜宏军、林益兴、施卫寅、钟宏波、周晓红、周鹏鹏、孙宏华、刘海 霞、郭凤鑫。 HG/T 4509—2013 工业高纯氢氟酸 1 范围 本标准规定了工业高纯氢氟酸的分级，要求，试验方法，检验规则，标志、标签，包装、运输和贮存及 安全。 本标准适用于工业高纯氢氟酸。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超 大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻，以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本 文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 191 2008 包装储运图示标志 GB/T 6678 化工产品采样总则 GB/T 6680 液体化工产品采样通则 GB/T 6682 2008 分析实验室用水规格和试验方法 GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 HG/T 3696.1 无机化工产品 化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备 第1部分：标准滴定 溶液的制备 HG/T 3696.2 无机化工产品 化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备 第2部分：杂质标准 溶液的制备 HG/T 3696.3 无机化工产品 化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备 第3部分：制剂及制 品的制备 3 分子式和相对分子质量 分子式：HF 相对分子质量：20.01(按2011年国际相对原子质量) 4 分级 工业高纯氢氟酸按用途分为四个等级。 EL 级：主要用于太阳能光伏电池及液晶显示器件的制造，以及作为生产其他高纯氟化物的原料； UP 级：主要用于线宽为0.8μm～1.2μm 集成电路的清洗与蚀刻； UP-S 级：主要用于线宽为0.2μm～0.6μm 集成电路的清洗与蚀刻 UP-SS 级：主要用于线宽为0.09μm～0.2μm 集成电路的清洗与蚀刻。 5 要求 5.1 外观：无色透明液体。 5.2 工业高纯氢氟酸按本标准规定的试验方法检测应符合表1技术要求。 2 HG/T 4509—2013 表 1 技术要求 项 目 指 标 EL级 UP级 UP-S级 UP SS级 总酸度(以HF计)w/% 49.0±0.5 49.0土0.5 49.0±0.5 49. ±0.5 氟硅酸(H?SiFs)w/(mg/kg) ≤ 50 50 30 30 氯化物(以Cl计)w/(mg/kg) ≤ 5 5 0.2 .05 硝酸盐(以NO,计)w/(mg/kg) ≤ 3 3 0.1 05 磷酸盐(以PO) 计)w/(mg/kg) ≤ 1 1 0.1 .05 硫酸盐(以SO 计)w/(mg/kg) ≤ 5 5 0.2 .05 铝(Al)w/(μg/kg) ≤ 100 10 1 1.1 砷(As)w/(μg/kg) ≤ 200 10 1 ).1 硼(B)w/(μg/kg) ≤ 100 10 1 0.1 钡(Ba)w/(μg/kg) ≤ 100 10 1 0.1 钙(Ca)w/(μg/kg) ≤ 100 10 1 1.1