- 1、本文档共14页,其中可免费阅读13页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请提供了一种晶圆清洗的控制方法、控制装置和计算机可读存储介质,该方法包括:在清洗腔内存在目标晶圆的情况下,检测是否需要清洗喷射管道;在检测到不需要清洗喷射管道的情况下,控制喷射管道向预定区域喷射清洗液,预定区域为目标晶圆所在的区域。该方法在检测到不需要清洗喷射管道的情况下,直接对目标晶圆进行清洗,在保证对目标晶圆的清洗效果较好的同时,较好地缓解了现有技术中每片晶圆清洗前均需清洗喷射管道导致产能较低和资源浪费的问题,从而节省了清洗液,且保证了晶圆的清洗效率较高。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113130356 B
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202110407272.3 (56)对比文件
(22)申请日 2021.04.15
您可能关注的文档
- 一种四氢苯酐生产装置.pdf
- 一种用于鼻内镜手术患者的预后和健康监测系统.pdf
- 一种电力工程设计用电网规划展示画板.pdf
- 制造电气装置的方法.pdf
- 光伏铝边框加工流水线.pdf
- 一种防眩光液晶显示屏.pdf
- 一种靶向敲减Rip3基因表达的shRNA、重组载体及其应用.pdf
- 抽检方法、装置、电子设备及存储介质.pdf
- 一种CO2呼气同位素检测仪及分析方法.pdf
- 一种合金浇铸锭模组合结构及其运用方法.pdf
- 2024安徽六安市舒城县产业投资发展有限公司招聘6人笔试备考题库及答案解析.docx
- 2024浙江丽水市松阳县国有资本投资运营集团有限公司招聘见习大学生1人笔试备考试题及答案解析.docx
- 2024年下半年仁寿县事业单位公开引进优秀人才的(161人)笔试备考题库及答案解析.docx
- 2024湖南长沙市某企业劳务派遣员工招聘笔试备考题库及答案解析.docx
- 2024年西安市第十中学教师招聘笔试备考题库及答案解析.docx
- 2024北京昌平沙河高教园区社区卫生服务中心招聘2人笔试备考试题及答案解析.docx
- 2024湖南怀化洪江市职业中专学校招聘编外合同制教师10人笔试备考题库及答案解析.docx
- 2025年国家能源投资集团有限责任公司高校毕业生直招1200余人笔试备考试题及答案解析.docx
- 2025年国家能源投资集团有限责任公司高校毕业生统招(7200余人)笔试备考试题及答案解析.docx
- 2024年成都市青白江区“蓉漂人才荟”招聘医学类毕业生13人笔试备考试题及答案解析.docx
最近下载
- 办公用品订购合同范本.docx VIP
- WORD版本刻度尺-A4纸打印可用.doc
- 90nm逻辑产品Peeling缺陷的解决方案.pdf
- 神经系统的分级调节.pptx VIP
- 中建施工总平面布置图设计(69页).pdf
- 2024年公共卫生与预防医学继续教育平台“大学习”活动线上培训栏目考试题库(1392题).docx
- 北师大版(2023)必修第一册 Unit 2 Sports and Fitness单元教学设计.pdf VIP
- 2016-2023年长沙民政职业技术学院高职单招(英语/数学/语文)笔试历年参考题库含答案解析.docx
- 农业经济学-农业资金.ppt VIP
- 齐鲁医学神经系统疾病的辅助检查.ppt VIP
文档评论(0)